MEMS (ang. Micro Electro - Mechanical Systems) - to systemy (urządzenia i struktury) elektromechaniczne wytwarzane w skali mikro. Popularnie są one nazywane mikrosystemami. Przykłady takich struktur widoczne są na poniższym rysunku:
Ze względu na strukturę, charakterystyki modowe, rozkład współczynnika załamania światła, stosowane materiały oraz zastosowanie światłowody możemy dzielić na następujące grupy:
struktura: włókniste i planarne,
charakterystyka modowa: jednomodowe i wielomodowe,
rozkład współczynnika załamania światła w rdzeniu: skokowe i gradnientowe,
Pierwszy VCSEL został zaprezentowany w roku 1979 przez panów Soda, Iga, Kitahara i Suematsu, jednak pierwsze urządzenia emitujące światło o stałej amplitudzie i częstotliwości i pracujące w temperaturze pokojowej powstały dopiero w 1988 roku a zaprezentował je pan Koyama.
