mikrosystemy

MEMS (ang. Micro Electro - Mechanical Systems) - to systemy (urządzenia i struktury) elektromechaniczne wytwarzane w skali mikro. Popularnie są one nazywane mikrosystemami. Przykłady takich struktur widoczne są na poniższym rysunku:

Rys. 1. Przykłady struktur MEMS